旋轉涂布機+真空干燥機
作者：touchpanel時間：2013-05-15 來源：未知
[摘要]本機臺裝置于預涂布機后之連接機臺，做一連串之藥液涂布、減壓干燥之動作。
機械概述
本機臺裝置于預涂布機后之連接機臺，做一連串之藥液涂布、減壓干燥之動作。
旋轉涂布機：
裝置于預涂布機后，將藥液涂布后之玻璃基板，以真空將玻璃基板吸著于SPIN之高速旋轉臺面，將藥液以薄膜狀態平均分布于玻璃基板表面。
真空干燥機：
銜接于旋轉涂布機后，接續上流制程藥液涂布后之玻璃基板，將其減壓干燥。
| 各 項 規 格 表 | |
| 機 臺 尺 寸 | 旋轉涂布機： 長2040mm 寬1520mm 高1855mm 真空干燥機： 長1598mm 寬1180mm 高1800mm |
| 外 觀 漆 色 | 白 鐵 色（SUS304） |
| 電 源 | 旋轉涂布機： 三相 AC220V 30A 50/60HZ 真空干燥機： 三相 AC220V 40A 50/60HZ |
| 玻 璃 尺 寸 | 300 × 350mm 厚度0.4 ~ 1.1mm |
購買聯系方式：
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