北京時(shí)間02月13日消息，中國(guó)觸摸屏網(wǎng)訊，傳臺(tái)積電今年將購(gòu)入18臺(tái)EUV光刻機(jī)。臺(tái)積電將包攬ASML今年的30臺(tái)EUV光刻機(jī)中的18臺(tái)，加上之前采購(gòu)的幾臺(tái)，臺(tái)積電有望在今年3月份啟動(dòng)7nm EUV的量產(chǎn)，推動(dòng)7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9％提升到25％。

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目前，ASML現(xiàn)款EUV光刻機(jī)Twinscan NXE： 3400B報(bào)價(jià)約1．2億美元（約合8億人民幣），也就是說(shuō)臺(tái)積電訂購(gòu)的這18臺(tái)EUV光刻機(jī)總價(jià)接近150億元。

此外，臺(tái)積電還計(jì)劃在今年第二季度啟動(dòng)5nm工藝的風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，值得注意的是，5nm必須采用EUV工藝才能夠?qū)崿F(xiàn)。

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