如何用MBE方法制備白光Micro LED?
作者:51Touch時間:2018-04-03 來源:BriaRWang
北京時間04月03日消息,中國觸摸屏網訊,如題,是否可以做layer by layer 外延生長 的RGB tandem white led呢?
本文來自:http://www.zc28898.cn/lcd/news/dynamic/2018/0403/50089.html
其實其中關鍵的一半,在于MBE方法的使用。
如題所說生長方法是MBE(molecular beam epitaxy, MBE)是做薄膜材料生長,科研領域里的一個比較常見的方法。但是,做薄膜這事,科研上用的很多的方法未必能在工業上用。工業上一般就三大類:真空蒸鍍,磁控濺射和CVD。個人建議不妨考慮一下磁控濺射方法。CVD也查一下資料吧。這倆估計項目投資也就幾千萬到幾個億罷了(逃,半導體就這樣)
MBE是在超高真空環境下,直接將已經被原子化的半導體元素直接“噴”到襯底表面。在高級的MBE設備里,你可以使用幾個噴槍同時噴原子到襯底表面上。
關于這道題,可能的做法是:
- 先在襯底上制造藍光LED器件。因為藍光LED相比紅黃光最難做。
- 用MBE儀噴紅,黃光LED到已經被制造成功的藍光LED器件上。借此應該是可以制造出,白光LED的。
當然,或許用熒光粉可以替代其中的部分半導體生長工藝。
在這個過程中要盡量少做薄膜蒸鍍,用熒光粉或者摻雜之類替代是一個很好的思路。
優點:毫無疑問MBE做薄膜生長是非常高級的方法(相比工業上應用的比較多的真空蒸鍍和磁控濺射)。這種方法是可以制造極高品質薄膜器件的。尤其是可以制造一些,用傳統方法不可能制造出來的器件。
缺點:這套設備價格會非常高。首先,要求真空度在10負8次方以下,光是真空設備就是一個極大的支出了。另外,成型的專門做MBE的設備,價格至少都在數百萬人民幣以上。因為大學做MBE的都不是非常多。能夠成規模大批制造白光LED器件的工業設備價格只會更可怕(整個生產線或許吃掉幾十個億都是很輕松的)。
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