英國光電子技術(shù)公司Plessey采購晶圓鍵合系統(tǒng)擴(kuò)大MicroLED的制造
作者:51Touch時(shí)間:2018-11-19 來源:OFweek
北京時(shí)間11月19日消息,中國觸摸屏網(wǎng)訊,Plessey采購晶圓鍵合系統(tǒng) 加大MicroLED的生產(chǎn)。英國光電子技術(shù)解決方案的領(lǐng)先開發(fā)商Plessey Semiconductor日前表示,已從晶圓鍵合和光刻設(shè)備生產(chǎn)商EVG購買了GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)。
本文來自:http://www.zc28898.cn/fixture/news/2018/1119/52114.html
該公司計(jì)劃使用該系統(tǒng)擴(kuò)大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey表示,GEMINI生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)將在Plessey位于英國普利茅斯的制造工廠展開粘合和校準(zhǔn)的工作。與此同時(shí),該系統(tǒng)還可將其GaN-on-Si MicroLED陣列與晶圓級(jí)背板緊密結(jié)合,具有極小像素尺寸所需的高對(duì)準(zhǔn)精度。
EVG表示,其獲得專利的SmartView ® NT自動(dòng)鍵合對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)晶圓的正面對(duì)準(zhǔn),具有極高的精度。
此外,其GEMINI自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了最高水平的自動(dòng)化和流程集成。該全自動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)晶圓到晶圓對(duì)準(zhǔn)以及提供高達(dá)300mm的晶圓鍵合工藝,適用于批量生產(chǎn)。
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