北京時間03月24日消息,中國觸摸屏網訊,近日由芯刻微公司委托盛吉盛(寧波)半導體材料有限公司(以下簡稱“盛吉盛”)代理投標,成功中標,購得ASML XT 1900 Gi型二手光刻機一臺,該設備可用于研發分辨率達28nm的高端光刻膠。

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3月11日,芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期貨款購入該光刻機,剩余90%六個月內付清。后續公司將啟動設備的運輸及相關安裝調試等工作。

據了解,上海新陽于2020年8月與芯刻微、超成科技簽署了《增資及股權轉讓協議》。增資及股權轉讓完成后,公司持有芯刻微38%的股權,超成科技持有芯刻微62%的股權,芯刻微公司未來進行ArF濕法光刻膠的研發。

上海新陽半導體材料股份有限公司始終堅持以技術,始終堅持瞄準國際前沿技術,面向全球產業需求,突破國際技術壟斷,填補國內技術空白,持續進行技術創新與產品研發。專注于半導體行業所需功能性化學材料產品及應用技術的研發創新、生產制造和銷售服務,致力于為用戶提供化學材料、配套設備、應用工藝和現場服務一體化的整體解決方案,躋身為世界半導體材料供應商與應用技術服務商。

上海新陽創立于1999年7月,2011年6月在深圳證券交易所創業板上市(簡稱:上海新陽,代碼:300236)。二十年來,上海新陽經過持續不斷地研發創新,形成了擁有完整自主可控知識產權的電子電鍍和電子清洗兩大核心技術,已申請授權國家專利210項,其中國內發明專利102項,國際發明專利8項,用于晶圓電鍍與晶圓清洗的第二代核心技術已達到世界水平。緊密圍繞兩大核心技術,開發研制出140多種電子電鍍與電子清洗系列功能性化學材料,產品廣泛應用于集成電路制造、3D-IC先進封裝、IC傳統封測等領域,滿足芯片銅制程90-28nm工藝技術要求,相關產品已成為多家集成電路制造公司28nm技術節點的基準材料(Base Line),成為中國半導體功能性化學材料和應用技術與服務的知名品牌。公司已立項研發集成電路制造用高分辨率193nm ArF光刻膠及配套材料與應用技術,擁有完整自主可控知識產權的光刻膠產品與應用即將形成公司的第三大核心技術,公司在國內半導體功能性化學材料領域的地位將更加穩固。

上海新陽是國家高新技術企業,上海市企業技術中心,上海市專利工作示范企業,上海市重合同守信用AAA級企業。公司先后多次承擔國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝專項》(02專項)項目研發與產業化,并獲得國家02專項體制創新獎。公司多項產品榮獲中國半導體創新產品技術獎,中國國際工業博覽會新材料一等獎,上海市高新技術成果轉化項目獎,松江區科學技術進步一等獎。

上海新陽2013年收購江蘇考普樂新材料有限公司,成功進軍布局氟碳涂料工程防腐與裝飾業務領域。2014年與2016年分別投資參股主營半導體12吋硅片產品的上海新昇半導體科技有限公司和主營半導體濕法工藝設備產品的上海新陽硅密半導體技術有限公司,使公司半導體業務領域不斷擴大。公司目前擁有控股和參股一級子公司10家,二級子公司2家,已逐步發展成為中國在半導體材料與氟碳涂料領域有廣泛影響力的集團公司。

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