北京時(shí)間12月17日消息，中國觸摸屏網(wǎng)訊，謝文元：Micro-LED在電腦silicon的發(fā)展和展望。由中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)液晶分會(huì)、中國半導(dǎo)體照明/LED產(chǎn)業(yè)與應(yīng)用聯(lián)盟、中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)、南京平板顯示行業(yè)協(xié)會(huì)、臺(tái)灣顯示器產(chǎn)業(yè)聯(lián)合總會(huì)五家行業(yè)協(xié)會(huì)聯(lián)合主辦，南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)、中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)、中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會(huì)發(fā)光二極管顯示應(yīng)用分會(huì)、南京華東電子信息科技股份有限公司、國家平板顯示工程技術(shù)研究中心共同協(xié)辦，華夏幸福基業(yè)股份有限公司戰(zhàn)略合作，上海舜聯(lián)文化傳播有限公司承辦的“2019第三屆中國（國際）Micro-LED顯示高峰論壇”在中國南京隆重召開。

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英諾賽科科技有限公司工藝工程部工藝制程開發(fā)總監(jiān)謝文元

各位尊敬的領(lǐng)導(dǎo)、各位前輩、在顯示或LED的伙伴，還有各位來賓大家好，我應(yīng)該算是這個(gè)行業(yè)的新面孔。因?yàn)槲覀冊(cè)诠�司�?yīng)該在各位的map、雷達(dá)里面應(yīng)該是沒有的。我今天來跟大家分享的題目是Micro-LED在電腦silicon的發(fā)展跟展望。今天也運(yùn)氣蠻好的，各位前輩分享了很多很棒的一些Micro-LED有一定的進(jìn)展報(bào)告。我來分享的部分其實(shí)運(yùn)氣還不錯(cuò)，是在制造的部分。在晶圓制造部分這個(gè)地方大家可能比較少提，所以我這邊會(huì)跟大家分享一下。

他大概有分了三個(gè)，這是第1個(gè)是功率的部分，功率器件功率半導(dǎo)體，它可以帶來很高的效能，然后非常小的體積，然后非常低的耗電。在射頻的部分，也就是說其實(shí)我們Micro-LED也跟5g信息相關(guān)，信息化的部分可以帶來更多的應(yīng)用。在這樣射頻的部分，其實(shí)它也有非常大的發(fā)展跟表現(xiàn)，它可以帶來非常高的性能，因?yàn)樗�的頻率可以做得很高。基本上氮化鎵是一個(gè)單晶的產(chǎn)品，它可以做到很高的頻率，很低的能耗，加上在硅上做，其價(jià)格可以做非常低，所以它是可以大量生產(chǎn)的。再來的部分是今天的重點(diǎn)，在Micro，有一點(diǎn)部分，其實(shí)Micro-LED有一些痛點(diǎn)，剛剛張?jiān)菏恳灿刑岬秸f其實(shí)在尋找紅光其實(shí)是一個(gè)非常棒的方向。所以其實(shí)就把原本在硅上的痛點(diǎn)全部補(bǔ)起來了，所以其實(shí)在硅上做，其實(shí)是非常低廉。然后如果你往更先進(jìn)的設(shè)備做，其實(shí)可以做到非常高的供應(yīng)均勻性，然后也可以有一些工藝的突破性，可以使用各式各樣就是半導(dǎo)體使用的設(shè)備。CMOS的部分，也就是說它是可以大量生產(chǎn)的，也跟我們今天的主題，在Micro-LED部分要產(chǎn)業(yè)化。這邊我就不再多做琢磨，因?yàn)閯倓偢魑豢h級(jí)領(lǐng)導(dǎo)都分享過，在Micro-LED，其實(shí)它應(yīng)用場(chǎng)景非常廣，大尺寸還有小尺寸的VR的部分穿戴。其次，Micro有一例的重點(diǎn)。然后再來是市場(chǎng)的部分，這個(gè)部分大家都非常看好，量可以非常的大，然后市場(chǎng)的部分是從恩泰克的分析來看，其實(shí)也是可以到八十幾個(gè)B鏈里面這樣子。所以其實(shí)我們都對(duì)這一個(gè)方面的未來是極度看好的。我現(xiàn)在接下來要跟大家講的是Micro-LED現(xiàn)在面臨的比較大的瓶頸，在電腦系統(tǒng)上，第1個(gè)就是外延技術(shù)的挑戰(zhàn)。鋼企最大的一個(gè)宏觀部分，張?jiān)菏浚�他真的太厲害了。把這個(gè)問題解決了。

接下來是巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)的部分。其實(shí)小弟我以前在之前的公司也有很榮幸跟Micro-LED一定有過一段姻緣，參與過跟世界上一家很大的公司的研發(fā)。所以我知道巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)的困難。今天看到兩位李總發(fā)表了在巨量轉(zhuǎn)技術(shù)的突破，還有后面相關(guān)的一些非常領(lǐng)先業(yè)界的一些做法，我覺得可以參與到產(chǎn)業(yè)的發(fā)展真的很棒。最下來其實(shí)是我比較想要強(qiáng)調(diào)的重點(diǎn)。重點(diǎn)在于說未來的需求既然這么的大，量產(chǎn)的能力跟成本的部分，其實(shí)就會(huì)馬上看到了。因?yàn)槲矣形覀円簿哂旋嫶罅慨a(chǎn)的能力，跟有機(jī)會(huì)把所有的成本做下來，我們才要把產(chǎn)業(yè)整個(gè)產(chǎn)業(yè)化的可能性。

在外延技術(shù)的部分，一些低費(fèi)的部分，我們公司其實(shí)就是在做八英寸的硅基氮化鎵，其實(shí)現(xiàn)在是已經(jīng)有這樣子的成品，我們是做HEPM的。所以可以先跟大家展示一下。再一個(gè)，8英寸的硅基氮化鉀其實(shí)是可量產(chǎn)的，不會(huì)像現(xiàn)在表面會(huì)被局限在6寸的部分，我們也可以做到說8英寸的電壓小于三比特的。所以是符合一般半導(dǎo)體的一個(gè)規(guī)格的需求，他的外延的成長其實(shí)也可以達(dá)到非常高的均勻性。然后他的報(bào)紙也非常平等，大家知道我用SOFA跟厚度最大差距，其實(shí)就是在最大的部分，翹曲度的部分，翹曲度就會(huì)非常的大，但這個(gè)部分其實(shí)技術(shù)也已經(jīng)克服。我分享一下我們公司的部分，其實(shí)在巧許度的部分，還有裂紋的部分，還有一些均勻性的部分。還有一些快速去除的部分，其實(shí)在這個(gè)方面其對(duì)于電焊和鐵焊焊接來講，應(yīng)該不會(huì)是太大的挑戰(zhàn)。所以我們的成本可以進(jìn)一步的下降。來提一下，我剛一直著重在一個(gè)重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)化，重點(diǎn)就是要成本非常的低。所以我現(xiàn)在在講，也是指數(shù)新上升的，所以他要看的東西非常精細(xì)。你以前看的跟在Micro-LED，可能都完完全全的不一樣。好，所以其實(shí)在半導(dǎo)體的經(jīng)驗(yàn)來說，其實(shí)我們都可以借鑒，也有非常多的可以使用，一些國際的大廠，這些都是可具備量產(chǎn)可行性的，可以使用，這些相關(guān)的半導(dǎo)體設(shè)備其實(shí)都可以在這里使用。而且這邊都是具備所謂大量量產(chǎn)能力的，適合量產(chǎn)的。我稍微做一下比較，所謂的CMO是兼容公益是量產(chǎn)成本優(yōu)勢(shì)的保障就是這么來的。第1個(gè)是在不光那部分，萬科的部分其實(shí)傳統(tǒng)LED或者是一般顯示器產(chǎn)業(yè)，它其實(shí)自己用一些相對(duì)比較慢脫，比如說staplec的部分，有些人是可以用到scanner，刻蝕非常快，它可以達(dá)到非常高的生產(chǎn)效率。在襯底的部分，在傳統(tǒng)LED可能是多數(shù)都會(huì)采用SARS。這一塊的成本是最低的。再來說是公益均勻性的部分，我剛好提到當(dāng)我們尺寸越縮越小，其實(shí)對(duì)所有東西的統(tǒng)一的問題要求是相對(duì)增加非常多的，使用這些比較先進(jìn)的設(shè)備，也會(huì)有比較高的良率跟比較高的品質(zhì)。因?yàn)樗�謂6寸設(shè)備，有些設(shè)備可能是新的，但如果要使用這些先進(jìn)大廠的設(shè)備，6寸的設(shè)備可能都是只有二手的，甚至是20年以前的產(chǎn)品。所以你并沒有辦法做到非常好的均勻度的控制。然后機(jī)臺(tái)的資訊也非常少，你可以可控的參數(shù)也更少。所以在這個(gè)部分其實(shí)是一個(gè)非常大的進(jìn)步。設(shè)備部分剛剛就有提到，我們?cè)贑K上可以使用各式各樣的CMOS的設(shè)備。這邊在reference一個(gè)業(yè)務(wù)的報(bào)告，他這邊有做一個(gè)比較有關(guān)，100米每秒，也就是4寸的300x6寸的沙白帶，還有如果坐在8英寸的硅上，它的成本可以下降到大概60在工藝的部分。

他成本的下降是非常可觀的，所以也可以為產(chǎn)業(yè)的部分帶來更加速的發(fā)展。讓我提到一個(gè)重點(diǎn)，其實(shí)我們用了我們的硅片的尺寸，其實(shí)良率就是大家真的關(guān)心了。99.7帕，要達(dá)到這個(gè)數(shù)字是非常困難的。如果甚至要放到8英寸上，是非常困難的。對(duì)半導(dǎo)體的經(jīng)驗(yàn)者來說，其實(shí)是有一套邏輯跟方法來做的。當(dāng)然他也要有一些先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備來做，運(yùn)用這樣子的方法，他可以把所謂本來小尺寸的缺陷給去除掉，它并不會(huì)不會(huì)影響良率。當(dāng)硅片尺寸減小后，其實(shí)它就會(huì)影響。根據(jù)這樣子的圖，我還有一些半導(dǎo)體手法，其實(shí)我們可以進(jìn)一步的再把它做好。使用這些先進(jìn)的設(shè)備，也會(huì)讓我們所有的，不管是檢測(cè)也好，或者是測(cè)量也好，它的品質(zhì)還有均勻性的標(biāo)準(zhǔn)，都可以大幅度的提高。

我這邊做一個(gè)小小的總結(jié)。在成本制造優(yōu)勢(shì)的方法，其實(shí)就是我要把我所有的東西都做到最好，價(jià)錢做到最便宜。這也是現(xiàn)在所有半導(dǎo)體做的一些發(fā)展，我要有最低廉的襯底。我采用CMOS工藝，然后我也擴(kuò)大我的產(chǎn)能。挑選用大尺寸的制造，6寸跟8寸就差了70~80percent面積，這也是所謂的剛剛有提到。院士有提到的，所謂的產(chǎn)品迭代的部分，對(duì)產(chǎn)品迭代部分，其實(shí)我們一直往上做，一直可以降低成本。其實(shí)我的尺寸也可以越做越小。這邊就稍微修一下，其實(shí)在柜機(jī)上它其實(shí)是有非常寬廣的未來，還有成本降低，還有所有的半導(dǎo)體設(shè)備都已經(jīng)準(zhǔn)備了。所以它是一條非常有希望的路線，他在工藝成本降低，還有量產(chǎn)的部分都有非常寬廣的未來。在最后對(duì)我們公司做一下簡(jiǎn)介，我們是2015年12月成立的，那時(shí)在專注做在硅基氮化鎵的部分，我們是在珠海，按目前其實(shí)是有一條8英寸的硅基氮化鎵的功率器件的產(chǎn)線。目前是這樣，然后我們的蘇州有一個(gè)項(xiàng)目，目前在建設(shè)中。我們公司的目標(biāo)其實(shí)也是專心做8英寸的硅基氮化鉀，想要實(shí)現(xiàn)這個(gè)方面的想法，純產(chǎn)業(yè)鏈。剛剛也有提到說所謂的idea，我從設(shè)計(jì)可靠性到制造到外延生產(chǎn)，全部都是自主可控。我們目前的部分其實(shí)也有跟很多客戶建立很多關(guān)系。目前其實(shí)從我進(jìn)來到現(xiàn)在，其實(shí)人數(shù)也倍增，從200個(gè)人到400個(gè)人，非常的快。我們有一些產(chǎn)品，公益事業(yè)產(chǎn)品，大概30伏到650伏的產(chǎn)品都有發(fā)表，那也是具有首條8英寸的產(chǎn)線。我這邊最后跟大家講一下干氧刻蝕技術(shù)，是現(xiàn)在可以來考慮的路線。
 

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