國產OLED蒸鍍機蓬勃發展，看看國產OLED蒸鍍機廠商新聞

作者：未知時間：2020-03-12 來源：觸摸屏與OLED網

[摘要]合肥欣奕華智能機器有限公司“OLED蒸鍍系統關鍵技術研發團隊”入選2019年合肥市“廬州產業創新團隊”。

北京時間03月12日消息，中國觸摸屏網訊，1. OLED蒸鍍技術團隊入選“廬州產業創新團隊”

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國產OLED蒸鍍機始終是突破行業之痛的關鍵所在，合肥欣奕華也一直在裝備國產化的道路上不斷努力。日前，中共合肥市委組織部發布了《2019年度合肥市“領軍人才”“廬州英才”“廬州產業創新團隊”擬入選名單公示》。合肥欣奕華智能機器有限公司“OLED蒸鍍系統關鍵技術研發團隊”入選2019年合肥市“廬州產業創新團隊”（A檔）。

自古廬州多才俊，“廬州產業創新團隊”同樣要求企業及其團隊必須在相關技術領域有真材實料，所研發創新項目需要在技術上具有先進性，能夠填補國內空白或處于國際先進、國內領先水平，并具有良好的產業化前景。

此次入選的OLED蒸鍍技術團隊所研發的OLED蒸鍍機是OLED面板產線的核心設備，猶如OLED面板制程的心臟，因而對精密制造水平要求極高，長期被日韓企業所壟斷。目前全球實力最強的OLED蒸鍍設備供應商TOKKI, YAS, SNU, SNF 等企業皆來自日韓，其中TOKKI的技術實力遠超過其他設備廠商，處于全球領先地位。但是由于TOKKI 產量不足，許多面板廠迫于市場產能指標壓力紛紛退而求其次選擇其他OLED設備供應商供貨，使得全球OLED面板設備行業依舊充滿活力和競爭力。

對于發展前景向好的OLED行業來說，蒸鍍工藝絕對扮演著制約良品率高低的關鍵性角色。所謂OLED蒸鍍，就是通過真空蒸鍍機能夠將OLED有機發光材料精準、均勻、可控地蒸鍍到玻璃基板上。蒸鍍機及蒸鍍工藝是OLED屏生產過程中難度最高的環節之一。蒸鍍機之所以難造，一方面由于對設備制造水平要求極高，另一方面因為這個設備是一個龐然大物。其真空生產線長約有100 米，設備運轉時相當于大型電視屏幕的玻璃面板透過機械臂在幾個工廠之間移動。行業共識，面板廠只有擁有了高性能的真空蒸鍍機，才算是真正拿到了OLED屏生產的入場券。合肥欣奕華長久以來的努力，也正是致力于在發展如火如荼的OLED顯示產業，讓面板企業獲得這張至關重要的入場券。

合肥欣奕華于2015年正式啟動了OLED蒸鍍系統關鍵技術研發項目，現已突破多項關鍵核心技術，且自主開發了第一款國產化OLED蒸鍍機（G1型），并通過了安徽省新產品鑒定。公司建成了3萬平米的OLED蒸鍍機研制潔凈車間，擁有各類先進研發設備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團隊，形成了完善的OLED技術研發體系，在蒸發源、真空腔體、高精密對位、封裝、工藝控制技術等方面，相關技術水平已達到國際先進水平，逐步追趕國外領先OLED設備制造企業。

截至目前，合肥欣奕華已與國內多家單位（包括高校實驗室、器件制造企業、材料制造企業等）簽訂了OLED蒸鍍設備采購或技術服務合同，并已完成了產品交付和技術驗收；另外，公司研制的OLED蒸鍍機核心部件已成功導入國內主要OLED面板制造企業的生產線，且已成功應用于客戶量產。下一步，欣奕華將根據客戶需求與計劃，進行更深入、更全面的技術合作，為我國OLED面板制造企業提供國產化高性能的蒸發源系統、對位系統及量產型蒸鍍機等產品。

2. 合肥萊德設備成功研發真空蒸鍍機，填補OLED生產關鍵技術國內空白

在合肥合巢經開區合肥萊德設備技術有限公司的廠房里，公司董事長孔令杰博士指著幾臺樣機告訴記者，他們已成功研制出從事OLED生產所必需的核心設備真空蒸鍍機，填補了國內在這個領域的空白。

真空蒸鍍機是OLED生產的核心設備，在生產OLED屏的過程中，要通過真空蒸鍍機將OLED有機發光材料精準、均勻、可控地蒸鍍到玻璃基板上，具有成膜方法簡單、薄膜純度和致密性高、膜結構和性能獨特等優點。蒸鍍機及蒸鍍工藝是OLED屏生產過程中難度最高的環節之一，可以說，擁有了高性能的真空蒸鍍機才算是真正拿到了OLED屏生產的入場券。

目前，全球的高端蒸鍍機主要由日韓企業等壟斷。孔令杰表示，OLED蒸鍍機設備目前處于極度供不應求的狀態，尤其是國內面板廠商對于高端蒸鍍機的需求一直難以得到滿足，想要買一臺Tokki的產品，不僅價格極高，交付周期還很長，服務也得不到保障。“我們集結了OLED行業內面板廠、設備廠和材料廠等多位資深專家進行攻關，終于打破國外高端蒸鍍機的壟斷，研制出了性價比高的OLED真空蒸鍍機。”孔令杰透露，目前他們已經接到幾個國內大型OLED面板制造企業的意向訂單，預計明年年中設備可以下線出貨。

3. 中山凱旋真空科技這家國內企業宣稱研發出OLED蒸鍍機

OLED手機屏的生產環節主要包括五大步驟，分別是LTPS、蒸鍍、封裝、單元、模塊。其中，蒸鍍是至關重要的一步，簡單說”蒸鍍”就是用專門的蒸鍍機在玻璃基板上“蒸出”包括紅、綠、藍三色的有機發光層。

然而，全世界能夠生產高質量蒸鍍機的企業少之又少，僅有少數日、韓企業能夠生產出滿足產業界要求的高端OLED蒸鍍機。我國OLED領域的痛中之痛就是沒有“自主的蒸鍍機”。

為了解決蒸鍍機這個痛點和難題，一家廣東的國有企業——中山凱旋真空科技股份有限公司通過幾年的不懈努力，終于研發出了擁有完全自主知識產權的OLED蒸鍍機。據悉該機型命名為K-200，為OLED蒸鍍領域的一代線，填補了國內自主OLED蒸鍍機的空白。該機型采用團簇式布局，蒸鍍基板尺寸為200*200mm2或者8 inch硅片，搭載精密對位系統，對位精度可達到1um（甚至以下），可配置3cc到40cc金屬及有機各類蒸發源共8種，可以廣泛用于OLED手機屏、VR顯示屏、OLED白光照明面板的生產及研發。