北京時間06月22日消息，中國觸摸屏網(wǎng)訊，大族激光真能制造高端光刻機嗎？原來是用于LED，并非集成電路

在芯片熱潮中，光刻機作為中國半導(dǎo)體的短板，成為大眾關(guān)注的焦點。光刻機對國內(nèi)廠商來說，為什么如此重要？原因在于光刻機在芯片制造中異常重要，同時制造具有很高難度，一直處于產(chǎn)業(yè)鏈風(fēng)口浪尖的位置。目前最先進(jìn)的EUV設(shè)備單臺平均售價高達(dá)1.04億歐元。

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目前市場上主要的光刻機供應(yīng)商有荷蘭的ASML、日本的NIKON和CANON，以及中國大陸的上海微電子裝備(SMEE)。上海微電子是國內(nèi)光刻機領(lǐng)軍者，其IC前道光刻機可以實現(xiàn)90nm制程，未來有望逐步實現(xiàn)技術(shù)突破。壟斷高端光刻機市場的ASML是一家荷蘭公司，中文名稱為阿斯麥爾。

目前，國內(nèi)廠家紛紛發(fā)力光刻機。6月5日，總投資13億元的上海博康光刻機及光刻材料項目正式簽約落戶高陵。上海博康光刻設(shè)備及光刻材料項目總占地200畝，總投資13億元，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值20億元以上，年貢獻(xiàn)稅收1億元以上。上海博康落戶高陵，將填補西安市半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)的空白，也將吸引電子信息產(chǎn)業(yè)聚集，拉伸先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)鏈條，為西安產(chǎn)業(yè)動能轉(zhuǎn)換和經(jīng)濟(jì)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級做出積極貢獻(xiàn)。


《人民網(wǎng)》曾在今年1月發(fā)表文章，稱上海微電子裝備有限公司（SMEE）通過十七年的“臥薪嘗膽”，持續(xù)攻關(guān)，基本掌握了高端光刻機的集成技術(shù)，并部分掌握了核心部件的制造技術(shù)，實現(xiàn)了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。其發(fā)展過程，為我國突破尖端科技并有效將研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化結(jié)合提供了諸多可借鑒的經(jīng)驗。

2019年，人民網(wǎng)曾發(fā)布《上海微電子：國產(chǎn)光刻機孵出中國芯 登上智能制造業(yè)珠峰》的文章。2002年，光刻機被列入國家863重大科技攻關(guān)計劃，由科技部和上海市共同推動成立上海微電子裝備有限公司來承擔(dān)，2008年國家又啟動了“02”科技重大專項予以銜接持續(xù)攻關(guān)。經(jīng)過十幾年潛心研發(fā)，我國已基本掌握了高端光刻機的集成技術(shù)，并部分掌握了核心部件的制造技術(shù)，成為集光機電等多學(xué)科尖端技術(shù)于一體的“智能制造業(yè)中的珠穆朗瑪峰”。

SMEE的決策者們在決定以高端光刻機開發(fā)為主線的同時，每天都在考慮當(dāng)離高端產(chǎn)品的開發(fā)還有一定高峰要攀登的時候，在“半山腰”、在“山腳”下，能不能把已經(jīng)掌握或部分掌握的技術(shù)變成產(chǎn)品，去服務(wù)于行業(yè)。基于這個思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產(chǎn)品。

目前，上海微電子裝備的90nm光刻機仍代表著國產(chǎn)光刻機最高水平，而其也只占有低端光刻機市場。上海微電子裝備官網(wǎng)顯示，其目前量產(chǎn)的光刻機包括200系列光刻機（TFT曝光）、300系列光刻機（LED、MEMS、Power Devices制造）、500系列光刻機（IC后道先進(jìn)封裝）、600系列光刻機（IC前道制造）。


6月5日，上海微電子裝備發(fā)布聲明稱，公司在之前90nm的基礎(chǔ)上，將在2021年至2022年交付國產(chǎn)第一臺28nm的immersion式光刻機，雖然與當(dāng)前主流荷蘭的7nm芯片制備工藝還有大的差距，但也標(biāo)志著國產(chǎn)光刻機的飛躍進(jìn)步，在逐漸減少與荷蘭ASML公司的差距。

目前，除上海微電子之外，還有不少公司加大投入研發(fā)光刻機，努力填補我國在高端光刻機領(lǐng)域的空白。近日,我國激光裝備龍頭企業(yè)大族激光宣布公司正自研光刻機，在研項目主要聚焦在分立器件、LED等領(lǐng)域的應(yīng)用，在PCB領(lǐng)域已經(jīng)有光刻設(shè)備出貨。準(zhǔn)確地說，大族激光在社交互動平臺回應(yīng)網(wǎng)友提問公司的激光技術(shù)能否用于光刻機時表示，公司正在研發(fā)光刻機項目，并且項目重心放在LED與分立器件等領(lǐng)域的應(yīng)用。

6月17日，大族激光又現(xiàn)身互動平臺，表示此前提及的光刻機項目有了新的進(jìn)展，或?qū)⒃诮衲昴甑讓崿F(xiàn)小批量銷售，不過大族激光早已表明該項目并不是為了研發(fā)大家想象中的高端光刻機設(shè)備，該產(chǎn)品應(yīng)該是較為低端的光刻機設(shè)備。請注意，大族激光研發(fā)的并不是大家想象中的高端光刻機設(shè)備，該產(chǎn)品應(yīng)該是較為低端的光刻機設(shè)備。

6月19日，中國經(jīng)營報發(fā)表《大族激光誤入光刻機概念》文章：盡管涉足光刻機產(chǎn)業(yè)，實際上大族激光自研的光刻機應(yīng)該是較為低端的光刻機設(shè)備。“LED領(lǐng)域的光刻機線寬要求相比很粗，同時它只是做單層光刻就可以了，不像我們平常所說的集成電路（IC）光刻機那樣要通過多層光刻，因為集成電路光刻就像蓋樓一樣，蓋一層光刻一層。”

陜西省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會理事長何曉寧表示，相較于集成電路光刻機，LED光刻機很簡單，它的線寬可能需要一個微米就差不多，更不要說納米了，而且目前國外也不限制國內(nèi)生產(chǎn)的這類光刻機，國外限制傾向于集成電路光刻機。盡管大族激光研制的并非高分辨率的光刻機，但何曉寧認(rèn)為，大族激光自研的光刻機，至少是光刻機國產(chǎn)替代進(jìn)口，國產(chǎn)化的進(jìn)程。

公開資料顯示,大族激光是亞洲最大、世界排名前三的工業(yè)激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商,主要產(chǎn)品包括激光打標(biāo)機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、新能源激光焊接設(shè)備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、工業(yè)機器人等多個系列200余種工業(yè)激光設(shè)備及智能裝備解決方案。

但是，大族激光最近日子并不好過，業(yè)績面臨下滑。5月，大族激光對外發(fā)布了投資者關(guān)系活動記錄表，其中第一季度公司實現(xiàn)營業(yè)收入15.10億元，同比下降28.96％，歸屬上市公司股東凈利潤1.07億元，同比下降33.25％，扣非凈利潤為0.63億元，同比下降55.69％。2月28日晚，大族激光發(fā)布2019年業(yè)績快報。報告顯示，大族激光2019年營收95.81億元，同比減少13.13%；凈利潤6.58億元，同比下降61.73% 。

最近，公司計劃分拆大族數(shù)控至國內(nèi)上市。大族激光6月1日以通訊形式召開第六屆董事會第三十四次會議通過了授權(quán)公司經(jīng)營層啟動分拆子公司深圳市大族數(shù)控科技有限公司境內(nèi)上市前期籌備工作事宜，分拆大族數(shù)控有利于拓寬大族數(shù)控的融資渠道，支持大族數(shù)控持續(xù)研發(fā)和經(jīng)營投入，提升公司持續(xù)盈利能力及核心競爭力。


大族數(shù)控是國內(nèi)專業(yè)開發(fā)和生產(chǎn)應(yīng)用于PCB（印刷線路板）生產(chǎn)具有國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平的“HANS”系列激光設(shè)備和數(shù)控鉆銑設(shè)備等專用加工設(shè)備。產(chǎn)品包括：CO2激光鉆孔機、UV激光鉆孔機、機械鉆孔機、UV切割成型機、機械成型機及LDI激光直接成像設(shè)備等。2019年大族數(shù)控業(yè)績大幅下滑，2019年大族數(shù)控實現(xiàn)營業(yè)收入13.24億元，同比下降22％，實現(xiàn)凈利潤2.4億元，同比下降34.4％。

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