北京時間06月22日消息，中國觸摸屏網訊，大族激光真能制造高端光刻機嗎？原來是用于LED，并非集成電路

在芯片熱潮中，光刻機作為中國半導體的短板，成為大眾關注的焦點。光刻機對國內廠商來說，為什么如此重要？原因在于光刻機在芯片制造中異常重要，同時制造具有很高難度，一直處于產業鏈風口浪尖的位置。目前最先進的EUV設備單臺平均售價高達1.04億歐元。

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目前市場上主要的光刻機供應商有荷蘭的ASML、日本的NIKON和CANON，以及中國大陸的上海微電子裝備(SMEE)。上海微電子是國內光刻機領軍者，其IC前道光刻機可以實現90nm制程，未來有望逐步實現技術突破。壟斷高端光刻機市場的ASML是一家荷蘭公司，中文名稱為阿斯麥爾。

目前，國內廠家紛紛發力光刻機。6月5日，總投資13億元的上海博康光刻機及光刻材料項目正式簽約落戶高陵。上海博康光刻設備及光刻材料項目總占地200畝，總投資13億元，滿產后年產值20億元以上，年貢獻稅收1億元以上。上海博康落戶高陵，將填補西安市半導體光刻領域產業的空白，也將吸引電子信息產業聚集，拉伸先進制造產業鏈條，為西安產業動能轉換和經濟結構優化升級做出積極貢獻。


《人民網》曾在今年1月發表文章，稱上海微電子裝備有限公司（SMEE）通過十七年的“臥薪嘗膽”，持續攻關，基本掌握了高端光刻機的集成技術，并部分掌握了核心部件的制造技術，實現了“用中國人的光刻機造中國芯”的夢想。其發展過程，為我國突破尖端科技并有效將研發與產業化結合提供了諸多可借鑒的經驗。

2019年，人民網曾發布《上海微電子：國產光刻機孵出中國芯 登上智能制造業珠峰》的文章。2002年，光刻機被列入國家863重大科技攻關計劃，由科技部和上海市共同推動成立上海微電子裝備有限公司來承擔，2008年國家又啟動了“02”科技重大專項予以銜接持續攻關。經過十幾年潛心研發，我國已基本掌握了高端光刻機的集成技術，并部分掌握了核心部件的制造技術，成為集光機電等多學科尖端技術于一體的“智能制造業中的珠穆朗瑪峰”。

SMEE的決策者們在決定以高端光刻機開發為主線的同時，每天都在考慮當離高端產品的開發還有一定高峰要攀登的時候，在“半山腰”、在“山腳”下，能不能把已經掌握或部分掌握的技術變成產品，去服務于行業。基于這個思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的產品。

目前，上海微電子裝備的90nm光刻機仍代表著國產光刻機最高水平，而其也只占有低端光刻機市場。上海微電子裝備官網顯示，其目前量產的光刻機包括200系列光刻機（TFT曝光）、300系列光刻機（LED、MEMS、Power Devices制造）、500系列光刻機（IC后道先進封裝）、600系列光刻機（IC前道制造）。


6月5日，上海微電子裝備發布聲明稱，公司在之前90nm的基礎上，將在2021年至2022年交付國產第一臺28nm的immersion式光刻機，雖然與當前主流荷蘭的7nm芯片制備工藝還有大的差距，但也標志著國產光刻機的飛躍進步，在逐漸減少與荷蘭ASML公司的差距。

目前，除上海微電子之外，還有不少公司加大投入研發光刻機，努力填補我國在高端光刻機領域的空白。近日,我國激光裝備龍頭企業大族激光宣布公司正自研光刻機，在研項目主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，在PCB領域已經有光刻設備出貨。準確地說，大族激光在社交互動平臺回應網友提問公司的激光技術能否用于光刻機時表示，公司正在研發光刻機項目，并且項目重心放在LED與分立器件等領域的應用。

6月17日，大族激光又現身互動平臺，表示此前提及的光刻機項目有了新的進展，或將在今年年底實現小批量銷售，不過大族激光早已表明該項目并不是為了研發大家想象中的高端光刻機設備，該產品應該是較為低端的光刻機設備。請注意，大族激光研發的并不是大家想象中的高端光刻機設備，該產品應該是較為低端的光刻機設備。

6月19日，中國經營報發表《大族激光誤入光刻機概念》文章：盡管涉足光刻機產業，實際上大族激光自研的光刻機應該是較為低端的光刻機設備。“LED領域的光刻機線寬要求相比很粗，同時它只是做單層光刻就可以了，不像我們平常所說的集成電路（IC）光刻機那樣要通過多層光刻，因為集成電路光刻就像蓋樓一樣，蓋一層光刻一層。”

陜西省半導體行業協會理事長何曉寧表示，相較于集成電路光刻機，LED光刻機很簡單，它的線寬可能需要一個微米就差不多，更不要說納米了，而且目前國外也不限制國內生產的這類光刻機，國外限制傾向于集成電路光刻機。盡管大族激光研制的并非高分辨率的光刻機，但何曉寧認為，大族激光自研的光刻機，至少是光刻機國產替代進口，國產化的進程。

公開資料顯示,大族激光是亞洲最大、世界排名前三的工業激光加工設備生產廠商,主要產品包括激光打標機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、新能源激光焊接設備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、工業機器人等多個系列200余種工業激光設備及智能裝備解決方案。

但是，大族激光最近日子并不好過，業績面臨下滑。5月，大族激光對外發布了投資者關系活動記錄表，其中第一季度公司實現營業收入15.10億元，同比下降28.96％，歸屬上市公司股東凈利潤1.07億元，同比下降33.25％，扣非凈利潤為0.63億元，同比下降55.69％。2月28日晚，大族激光發布2019年業績快報。報告顯示，大族激光2019年營收95.81億元，同比減少13.13%；凈利潤6.58億元，同比下降61.73% 。

最近，公司計劃分拆大族數控至國內上市。大族激光6月1日以通訊形式召開第六屆董事會第三十四次會議通過了授權公司經營層啟動分拆子公司深圳市大族數控科技有限公司境內上市前期籌備工作事宜，分拆大族數控有利于拓寬大族數控的融資渠道，支持大族數控持續研發和經營投入，提升公司持續盈利能力及核心競爭力。


大族數控是國內專業開發和生產應用于PCB（印刷線路板）生產具有國內領先、國際先進水平的“HANS”系列激光設備和數控鉆銑設備等專用加工設備。產品包括：CO2激光鉆孔機、UV激光鉆孔機、機械鉆孔機、UV切割成型機、機械成型機及LDI激光直接成像設備等。2019年大族數控業績大幅下滑，2019年大族數控實現營業收入13.24億元，同比下降22％，實現凈利潤2.4億元，同比下降34.4％。

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