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臺積電先進制程的中國臺灣南科18a廠，昨（29）日晚間驚傳制程出狀況，部分產線停擺，今日上午供應商全數被擋在廠區外，供應鏈透露，應是氧氣供應受到污染，由于牽涉制程相當廣，臺積電自昨晚至早上，已忙成一團。

 

臺積電今日證實有部分來自廠商供應氧體疑似受到污染，已即時調度其他氣體供應，此現象對產線并無造成顯著影響，晶片仍正常生產。
 

 

不過從供應商被擋在門外，且消息傳出今日12時臺積電18廠舉行生產會議 ，確實生產受到影響。

 

半導體業者表示，半導體制程高達700多道，約有270道需使用氧氣，涵蓋蝕刻、物理及化學研磨，幾乎都是核心制程，且臺積電18a又是目前臺積電最先進5奈米核心制程，目前生產項目又是蘋果下世代5G手機要用的核心處理器和超微新一代處理器，此刻發生氧氣受到污染，恐怕是直中臺積電要害，但預料臺積電也會全力排除相關問題，盡速讓產線恢復，只是詳細影響，有待臺積電進一步說明。